特雷伯国际申请再循环超纯去离子水加热器专利用于在半导体制造等工艺中使用
栏目:公司新闻 发布时间:2026-02-11 01:53:02

  国家知识产权局信息显示,特雷伯国际公司申请一项名为“再循环超纯去离子水加热器”的专利,公开号CN121488133A,申请日期为2024年5月。

  专利摘要显示,本文提供了用于超纯去离子水的加热系统。一种加热系统为闭合回路再循环系统,该加热系统包括第一储罐和第一级加热器,以及第二储罐和第二级加热器。第一级加热器将来自第一储罐的水加热到第一温度。离开第一级加热器后,水流到第二储罐。第二级加热器将来自第二储罐的水加热到最终的第二温度。处于最终的第二温度的水被输送通过闭合回路再循环系统,用于在诸如半导体制造等制造工艺中使用。

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